MRD :
دستگاه Material Research Diffractometer بکار گرفته شده در بخش XRD آزمایشگاه کانساران بینالود ساخت کارخانه Philips می باشد.
دستگاه MRD در این زمینه ها اقدام به ارائه خدمات می نماید:
• آنالیز XRR-Reflectivity
• آنالیز GIXRD-Grazing
• رسم نمودارهای Rocking Curve
آنالیز گریزینگ GIXRD-Grazing
بتوسط این دستگاه می توان زاویه تابش اشعه ایکس بر روی نمونه را محدود کرد بطوریکه این زاویه کمتر از 2 درجه باشد (در حالت عادی 1 درجه). این حالت برای لایه های نازک کاربرد داشته و باعث می گردد اشعه بر روی نمونه گسترده شده و میزان نفوذ محدود می گردد لذا پراشهای اشعه ایکس بطور عمده از لایه برمیگردد و بستگی به ضخامت لایه پراشهای ضعیفی از زیرلایه ممکن است دریافت گردد ولی به هرحال پراش های حاصل از لایه با این تکنیک تقویت شده و شناسایی آن ساده می گردد. نتیجه حاصل از این روش همان الگوی پراش معمولی خواهد بود.
آنالیز رفلکتیویتی XRR-Reflectivity
در این روش شدت پرتوهای بازتاب شده از سطح نمونه در زوایای مختلف مورد بررسی قرار گرفته و پارامترهایی از قبیل ضخامت لایه، دانسیته و زبری سطح مورد ارزیابی قرار می گیرد.
دو نمونه از دیاگرامهای Reflectivity تهیه شده توسط دستگاه MRD این آزمایشگاه در زیر آورده شده است:
رسم نمودارهای Rocking Curve :
لایه نشانی سیلیکون بر روی پایه سیلیکون
