نسل جدیدی از میکروپروب XPMA به تازگی به بازار راه یافته که نحوه کار آن بر اساس اشعه ایکس می باشد. این دستگاه (XGT-7200) در واقع یک X-Ray Probe Micro Analyzer می باشد که راه جدیدی را برای انجام آنالیزهای معمول به محققان رشته های گوناگون ارائه نموده است. این دستگاه یک دسته تشعشع به باریکی 100 میکرون را بر روی نقطه ای از نمونه تابانده و آنرا با دقت زیاد مورد تجزیه شیمیایی قرار می دهد. دستگاه می تواند در محیط خلاء و یا در شرایط اتمسفر معمولی به کار خود ادامه دهد. جهت تعیین موقعیت آنالیز، دوربینی با قدرت وضوح بالا امکان مشاهده جزئیات نمونه و تعیین موقعیت آنالیز را فراهم می نماید. اشعه ایکس عبوری از بعضی نمونه ها نیز ساختار داخلی آنها را بوضوح نمایان ساخته و اطلاعات با ارزشی را از ساختارهای داخلی آنها ارائه می نماید. تعیین ضخامت لایه نیز در ابعاد نانو و میکرون با این وسیله نیز قابل انجام می باشد. این دستگاه کاربرد وسیعی در بسیاری از علوم همچون زمین شناسی، متالورژی، مواد، باستان شناسی، شیمی، جرم شناسی، الکترونیک، پزشکی، زیست شناسی، داروسازی، فضایی و غیره را دارد.

قابلیتها:
آنالیز کمی دقیق نقطه ای با رزولوشن 100 میکرون در هر نقطه دلخواه
نحوه توزیع عناصر در هر محدوده دلخواه از مساحتی به ابعاد 256 در 256 میکرون تا 10 در 10 سانتی متر (مثلا جهت بررسی زونینگ کانیها)
تهیه پروفیل تمام عناصر در هر امتدادی و هر شکلی (خط صاف ، شکسته ، منحنی)
عدم استفاده از هر نوع پوشش (طلا، کربن، پلاتین و غیره) و عدم تخریب و دستخوردگی نمونه
امکان قرار گیری هر نمونه به هر شکل و ابعاد تا حداکثر 10 سانتی متر از ارتفاع و 20 سانتی متر در عرض و طول
امکان خلاء کامل برای مواد جامد و خلاء بخشی برای آنالیز نمونه های بیولوژی - آلی، پودرها و مواد دارای رطوبت بالا
امکان تهیه عکس ایکس ری عبوری (Transmission X-Ray) از اکثر مواد جهت شناسایی ساختار داخلی اجسام
امکان آنالیز لایه های مختلف در نمونه

 نحوه کار:

اشعه ایکس پس از تولید در محفظه ایکس از لوله بسیار باریک اشعه ایکس خارج شده و به اتمهای نمونه برخورد می کند که این امر باعث کنده شدن الکترون از ترازهای مختلف در اتم شده و در تنیجه باعث برانگیخته شدن اتمهای داخل نمونه می گردد. برای جبران برانگیختگی و ناپایداری اتمها، الکترونی از ترازهای بالاتر به سمت ترازهای پایینتر که انرژی آن کمتر است مهاجرت می نماید که در این نقل و انتقالات الکترونی مازاد انرژی که از اتمها ایجاد شده به صورت امواج اشعه ایکس ساطع می گردد. تشعشعات ایکس خارج شده طول موجهای مشخصی دارند که امواج فلورسانس نام دارند. هر طول موج مربوط به عنصری است که در نمونه وجود دارند. با اندازه گیری میزان انرژی این طول موجها، عناصر مربوطه نیز شناسایی شده و مقدار آن نیز از روی شدت آنها (بلندی پیکها) بدست می آید. با توجه به سهولت کار دستگاه و ارتباط با کامپیوتر الگوی کاری و نحوه اسکن نمونه نیز به راحتی قابل تعریف می باشد. آنالیز می تواند بر روی یک نقطه خاص متمرکز گردیده و یا در طول یک خط با فواصل قابل تعریف و یا حتی ابعاد یک شبکه را پیمایش نموده و نحوه تغییرات عناصر را ثبت نماید. در این دستگاه نمونه را می توان در خلاء کامل و یا در فشار اتمسفر معمولی قرار داد.
1) بخش خلأ کامل: در این بخش به کمک پمپ خلأ تمام هوای داخل محفظه قرار گیری نمونه تخلیه شده و نمونه در خلاء کامل قرار می گیرد. در خلاء کامل که مخصوص نمونه های جامد می باشد می توان تمام عناصر را با دقت بسیار بالا مورد تجزیه قرار داد. در این بخش عناصر سبک نیز با حساسیت بسیار بالا (بدلیل عدم وجود مزاحمت توسط مولکولهای هوا) قابل اندازه گیری می باشند.
2) بخش فشار اتمسفریک: در این قسمت دریچه ای جلوی خروج هوا را گرفته و شرایط اتمسفر معمولی بر نمونه باقی می ماند و خلاء صرفا در بخش مسیر لوله اشعه ایکس و آشکارساز برقرار می گردد با این کار می توان نمونه هایی که ترد، شکننده، پودری و یا حتی زیستی (ارگانیک) هستند را به راحتی آنالیز کنیم. بخش محفظه قرار گیری نمونه طوری طراحی شده که می توان تمام نمونه ها با هر سایز و اندازه و شیب مختلفی را به راحتی در درون آن قرار داد و دیگر نیازی به تخریب نمونه و آماده سازیهای پیچیده نیست. قرار گیری نمونه در این دستگاه بر خلاف قرار گیری نمونه در دستگاه میکروسکوپ الکترونی احتیاج به روکش (Coat) طلا و یا کربن ندارد چرا که اصولا در این دستگاه الکترونی تولید نمی گردد تا ایجاد تراکم الکترونی در سطح نمونه و ایجاد مزاحمت گردد.
تفاوت XPMA با SEM & EPMA: در SEM و EPMA با پرتوهای الکترونی می توان از سطح نمونه تصویر تهیه کرد یعنی با گسیل الکترون و بازگشت آن که تنها در سطح نمونه اتفاق می افتد می توان تصوری از سطح را ترسیم نمود. در صورتی که میکروپروب هوریبا با اشعه ایکس کار می کند که بسیار قوی تر و پر نفوذ تر از الکترونهای تولیدی در SEM است. بنا بر این قدرت و دقت آنالیز میکروپروب اشعه ایکس بسیار قوی تر از SEM است زیرا همانگونه که گفته شد اشعه ایکس قدرت نفوذ بسیار بالاتری نسبت به الکترون دارد. فرق دیگر این دستگاه نسبت به SEM این است که برای شکل و اندازه نمونه هیچ محدودیتی وجود ندارد و می توان چه در خلأ و چه در اتمسفر نمونه را به راحتی آنالیز نمود و به آماده سازی خاصی نیز احتیاج نیست در صورتی که در SEM حتماً نیاز به آماده سازی و پوشش طلا , پلاتین یا کربن بر روی نمونه است که این عامل ممکن است برای بسیاری از نمونه ها ایجاد مشکل کند زیرا بعضی از نمونه های بسیار مهم نباید دچار آلودگی سطحی ناشی از آماده سازی شوند.